삼성전자, ‘국산’ 고순도 불화수소 반도체 공정 투입

일본 수출 규제 강화 2달여만

지난 7월19일 서울 성북구 한국과학기술연구원에서 연구원들이 차세대 반도체 연구를 하고 있다. 연합뉴스

삼성전자가 국산의 고순도 불화수소(에칭가스)를 반도체 공정의 일부 라인에 투입하는 데 성공했다. 일본산 소재의 의존도를 낮추기 위해 정부와 업계의 노력이 이어지고 있는 가운데 일부 성과가 나타난 것이다.

3일 삼성전자 쪽은 “일부 반도체 라인의 일부 제품에 국산 불화수소가 적용됐다”고 밝혔다. 삼성전자 관계자는 “다변화를 위한 노력을 지속중인 가운데 시간은 더 필요한 상황”이라며 “기존 거래선들과의 협력도 계속하겠다”고 강조했다.

이는 지난 7월4일 일본이 고순도 불화수소와 포토레지스트 등 반도체 공정에 쓰이는 주요 소재에 대해 수출 규제를 강화한 지 2달여 만의 일이다. 업계에서는 테스트 과정 등을 감안하면 국산 소재의 투입까지는 3~6개월가량의 시간이 소요될 것이라고 예상해왔다. 앞서 엘지(LG)디스플레이도 국산 고순도 불화수소를 공정에 투입하는 데 성공한 바 있다.

송경화 기자 [e-mail]

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